本设备是数控垂直式，在加工过程中自动测量加工产品的厚度尺寸，同时可以设置砂轮盘的修正方式，时刻保持好的加工条件，并能准确加工到程序上设置的目标值的一个全自动超精密减薄机设备。

为了实现自动化及超精密的加工要求，在设备上配有自动修整砂轮装置及自动在线测量芯片（蓝宝石）厚度装置、精密辅助修整和测量装置。安全操作的的原则下，设备的性能更能提高一筹。

系统配置：

本系统采用国际先进的三菱电机自动化系统进行控制，CPU选用FX5U系列PLC,变频器选用D700系列2台，三菱J4系列伺服4套，对各个动力系统进行动力分配及精确控制；选用GT2000人机界面进行系统操作及数据、历史记录进行管理，采用2个德国海德汉光栅尺进行精确位置测量反馈，采用2个日本基恩士长度计进行自动在线测量等。

系统特点：

1.自动化集成程度高，从半成品加工到标准的成品只需要一个按钮就可完成。

2.采用SSCNETIII/H总线系统，实现快速的定位、强抗干扰省配线等性能。

3.可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎，而且加工精度可控制在±0.003mm范围内。

4.减薄效率高，蓝宝石每分钟可减薄48um，硅片每分钟可减薄250um。